萨本栋微米纳米科学技术研究院于2010年成立，前身为2001年2月设立的萨本栋微机电研究中心。为了加快推动机械工程学科及我校相关工科的高质量发展，集中力量突破国家和区域重点产业的卡脖子技术难题，2023年学校将萨本栋微米纳米科学技术研究院进行优化重组，聚焦微纳制造与智能制造领域。重组后的研究院将重点建设机械工程一级学科，进入发展新阶段。目前研究院有教职工85人（含双聘教师5人），其中专任教师64人。研究院通过引培并举，汇聚了一支包含新加坡工程院院士、国家高层次人才、国家杰青、国家优青、国家万人青拔等为代表的优秀师资队伍。研究院目前建成了集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体的微纳工艺平台，是创新型、应用型人才的培育器，亦是保障各类国家重大科研任务顺利开展的技术研发基地和催化技术革新、成果转化的产业化基地。研究院拥有机械工程博士后科研流动站，机械工程一级学科博士点、智能仪器与装备交叉学科博士点、工程硕士专业学位（机械）授权点，可在电子信息领域招收专业学位博士研究生。机械工程一级学科博士点主要重点建设光电工程与科学仪器、微纳制造与智能传感、智能制造技术与装备等学科方向。工程硕士学位点下设机械工程、机器人工程、智能制造技术、车辆工程等学科方向。